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廣州市尤特新材料有限公司

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氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶

  • 氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶
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  • 供應標題:氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶

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    發(fā)布公司:廣州市尤特新材料有限公司

    供貨總量:9999

    聯(lián)系人:楊永添

    發(fā)貨地點(diǎn):廣東 廣州 花都區

    發(fā)布時(shí)間:2024年08月16日

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    基本信息

    靶材中毒是由于在濺射過(guò)程中帶有正電的離子聚集在靶表面。然后并沒(méi)有得到中和,便出現靶表面負偏壓逐步下降。這所謂的靶中毒現象。對于影響靶材中毒的因素是什么呢?1.影響靶中毒的因素主要是反應氣體和濺射氣體的比例,反應氣體過(guò)量就會(huì )導致靶中毒。反應濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射溝道區域內出現被反應生成物覆蓋或反應生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長(cháng)的過(guò)程。采用中頻電源或射頻電源打一個(gè)到兩個(gè)小時(shí),可以恢復。3.將靶材拆出來(lái),用砂紙拋光,也可解決?刂棋兡つJ降淖儞Q:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應曲線(xiàn),使進(jìn)氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的前,確保工藝過(guò)程始終處于沉積速率陡降前的模式。防止靶材中毒,首先要保證真空室不漏。清理內部,除去揮發(fā)成分等。

    目前國內氧化物薄膜材料的制備方法和技術(shù)有很多,其中主要的方法有脈沖激光沉積、磁控濺射、電子束蒸發(fā)、分子束外延等物理方法,以及化學(xué)氣相沉積、溶膠-凝膠、噴霧熱解等化學(xué)方法。在這些制備技術(shù)中,磁控濺射鍍膜技術(shù)具有易于大面積鍍膜、工業(yè)化生產(chǎn)以及薄膜品質(zhì)、成分、結構、均勻性等易于調控的優(yōu)勢,是產(chǎn)業(yè)化制備氧化物薄膜材料的重要方法之一,以該方法制備的氧化物薄膜材料在液晶面板、觸摸屏、薄膜太陽(yáng)能電池、發(fā)光二極管等產(chǎn)業(yè)上獲得了廣泛應用。

    廣州市尤特新材料有限公司基本信息

    主營(yíng)產(chǎn)品:濺射靶材,鍍膜靶材,金屬靶材,旋轉靶材,平面靶材,噴涂靶材,靶材,UV玻璃油墨 公司成立年份:2003
    公司網(wǎng)址:http://UVTMCOM.glass.com.cn

    氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶


    產(chǎn)品屬性:
    計量單位:套 供貨總量:9999 最小起訂量:1 產(chǎn)品單價(jià):3500.00 品牌: 規格型號: 包裝說(shuō)明:

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