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氧化鋯靶材,噴涂氧化鋯管靶,旋轉氧化鋯靶
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6900.00元/套
供應標題:氧化鋯靶材,噴涂氧化鋯管靶,旋轉氧化鋯靶
價(jià)格:電儀
發(fā)布公司:廣州市尤特新材料有限公司
供貨總量:9999
聯(lián)系人:楊永添
發(fā)貨地點(diǎn):廣東 廣州 花都區
發(fā)布時(shí)間:2024年07月23日
有效期至:2025年09月18日
在線(xiàn)詢(xún)盤(pán):在線(xiàn)詢(xún)盤(pán)
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:未計算
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基本信息
在大規模集成電路制作工藝過(guò)程中,每150mm直徑硅片所能允許的微粒數必須小于30個(gè)。怎樣控制濺射靶材的晶粒,并提高其致密度以解決濺射過(guò)程中的微粒飛濺問(wèn)題是濺射靶材的研發(fā)的關(guān)鍵。靶材濺射時(shí),靶材中的原子容易沿著(zhù)密排面方向優(yōu)先濺射出來(lái),材料的結晶方向對濺射速率和濺射膜層的厚度均勻性影響較大,終影響下游產(chǎn)品的品質(zhì)和性能。需根據靶材的結構特點(diǎn),采用不同的成型方法,進(jìn)行反復的塑性變形、熱處理工藝加以控制。銦是中國在儲量上占據優(yōu)勢的資源。ITO靶材,制造的原料In是我國擁有的關(guān)鍵稀土銦,但由于不會(huì )加工,等日采購。顯示面板的上游更是日本企業(yè)壟斷。噴涂設備。
而在1950年,第二種透明半導體氧化物In2O3被制成,特別是在In2O3里摻入錫以后,使這種材料在透明導電薄膜方面得到了普遍的應用,并具有廣闊的應用前景。目前制備ITO薄膜的方法有很多種,如低電壓濺射、直流磁控濺射和HDAP法。將ITO玻璃進(jìn)行加工處理、經(jīng)過(guò)鍍膜形成電極。從設備所占市場(chǎng)份額看,AMAT的產(chǎn)品覆蓋了整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈,眾多產(chǎn)品市場(chǎng)占有率處于較高水平。包括PVD沉積設備(84.9%),P設備(66%)。離子注入設備(73%)領(lǐng)域處于較高水平。此外,泛林的刻蝕機市場(chǎng)占有率達到52.7%。膜時(shí)提高襯底溫度以薄膜晶粒尺寸,優(yōu)化薄膜結晶性能。隨著(zhù)芯片的使用范圍越來(lái)越廣泛,芯片市場(chǎng)需求數量增長(cháng)。
特別是高純度濺射靶材應用于電子元器件制造的物相沉積(PVD)工藝是制備晶圓、面板、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。真空狀態(tài)下,用加速的離子轟擊固體表面,離子和固體表面原子交換動(dòng)量使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面形成所需要的薄膜這一過(guò)程稱(chēng)為濺射。被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的源材料。通常稱(chēng)為靶材。靶材產(chǎn)業(yè)鏈:濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈主要包括金屬提純、靶材制造、濺射鍍膜和終端應用等環(huán)節。其中,靶材制造和濺射鍍膜位于中游,是整個(gè)濺射靶材產(chǎn)業(yè)鏈中的關(guān)鍵環(huán)節。半導體領(lǐng)域對靶材要求高。WSTS(半導體貿易統計)數據顯示,濺射靶材主要應用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導體等領(lǐng)域。其中,在濺射靶材應用領(lǐng)域中,半導體芯片對濺射靶材的金屬材料純度、內部微觀(guān)結構等方面都設定了極其苛刻的標準。鍍膜靶材。
半導體芯片行業(yè)是金屬濺射靶材的主要應用領(lǐng)域之一,也是對靶材的成分和性能要求高的領(lǐng)域。具體來(lái)講,半導體芯片的制作過(guò)程可分為硅片制造、晶圓制造和芯片封裝等三大環(huán)節,其中,在晶圓制造和芯片封裝這兩個(gè)環(huán)節中都需要用到金屬濺射靶材。靶材是半導體、顯示面板等的關(guān)鍵核心材料,國內總需求占比超30%,但可自主生產(chǎn)的市場(chǎng)規模不足2%。伴隨制造業(yè)向國內轉移趨勢,國產(chǎn)替代空間明顯。隨著(zhù)半導體技術(shù)的迅猛發(fā)展,集成化程度越來(lái)越高,單位面積單晶硅片集成器件數呈指數級增長(cháng),主流的硅片尺寸已從12英寸(300mm)逐漸邁向18英寸(450mm)或者更高,國內ITO導電膜產(chǎn)業(yè),日本企業(yè)進(jìn)入該產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域較早,不僅具有上游原料優(yōu)勢。
太陽(yáng)能電池主要包括晶體硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池, PVD 工藝主要應用于薄膜太陽(yáng)能電池中。晶體硅太陽(yáng)能電池效率較高、性能穩定,且各個(gè)產(chǎn)業(yè)環(huán)節比較成熟,占據了太陽(yáng)能電池市場(chǎng)的地位。與晶體硅太陽(yáng)能電池相比,薄膜太陽(yáng)能電池材料用量大大減少,從而大幅降低了制造成本和產(chǎn)品價(jià)格,同時(shí),薄膜太陽(yáng)能電池還具有制造溫度低、應用范圍大等特點(diǎn)。21 世紀以來(lái),光伏產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展。近年來(lái),隨著(zhù)國家對環(huán)境保護、節能減排方面的重視,我國太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)在太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的帶動(dòng)下飛速發(fā)展。太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展也給太陽(yáng)能電池用濺射靶材市場(chǎng)帶來(lái)了巨大的成長(cháng)空間, 2015 年太陽(yáng)能電池用濺射靶材市場(chǎng)規模達 18.5 億美元,比 2014 年增長(cháng) 21.7%。目前國內太陽(yáng)能電池主要以硅片涂覆型太陽(yáng)能電池為主,薄膜電池的產(chǎn)量較小,因此濺射靶材市場(chǎng)規模仍較小, 2015 年為 7.5 億元。太陽(yáng)能電池行業(yè)仍然處于產(chǎn)業(yè)上升階段,隨著(zhù)國內薄膜電池生產(chǎn)線(xiàn)的投產(chǎn),我國太陽(yáng)能電池用濺射靶材市場(chǎng)將持續增長(cháng)。
二氧化鉿靶,二硼化鈦靶,二硼化鋯靶,五氧化二鉭,五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶,氮化硅靶,氮化硼靶,氮化鈦靶,碳化硅靶,鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶、濺射靶材等。新建和改擴建企業(yè)及項目產(chǎn)品的技術(shù)指標要求則更高:多晶硅電池和單晶硅電池的光電轉換效率分別不低于20%和23%。有業(yè)內人士提出,由以上數據可以發(fā)現,2020年《規范》從本來(lái)應是“及格線(xiàn)”的標準幾乎提高到了“滿(mǎn)分線(xiàn)”,也就是基本只有頭部企業(yè)才可以達到的要求,被用來(lái)約束全行業(yè),在擴產(chǎn)方面,行業(yè)擴產(chǎn)熱潮可能會(huì )被適當冷卻。據了解,目前只有主流企業(yè)的電池轉換效率夠得上新版發(fā)布的標準。根據中國光伏行業(yè)協(xié)會(huì )統計數據顯示。
以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源(Ф60,Ф80直徑靶材,氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等),真空測量可選擇數字式智能真空計及其優(yōu)質(zhì)的測量規管,及其它測量?jì)x器,如自動(dòng)壓強控制儀等。膜厚測量可選用方塊電阻測量?jì)x,透過(guò)率計等。充氣方式可選用質(zhì)量流量計、浮子流量計 針閥及相應的充氣閥門(mén),并可選擇多路充氣管路及相應流量參數。根據需烘烤的結構提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應儀表測量。根據設備使用特點(diǎn)?蛇x擇手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)或其組合的控制方式。完善的報警系統,對真空室體、擴散泵斷相、缺水、氣壓、電源負載的過(guò)壓、過(guò)流等異常情況進(jìn)行聲光報警。
“2019年度中國濺射靶材品牌評選”是由品牌排行網(wǎng)主辦的范圍廣、規模大的品牌綜合實(shí)力排名評選活動(dòng)。經(jīng)過(guò)多審核精選出行業(yè)品質(zhì)出眾、人氣旺的品牌。尤特新材料(UVTM)是國家高新技術(shù)企業(yè),公司成立于二00三年,專(zhuān)業(yè)從事信息、鍍膜、太陽(yáng)能材料的科研與生產(chǎn)。公司從德國、日本、引進(jìn)先進(jìn)的生產(chǎn)、檢測設備和專(zhuān)業(yè)人才。
半導體材料可以分為晶圓材料和封裝材料,封裝材料相較于晶圓制造材料來(lái)說(shuō)技術(shù)壁壘相對較低,所以我們主要講的是晶圓制造材料。半導體材料市場(chǎng)占比在3%左右的濺射靶材。簡(jiǎn)單地說(shuō),靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料,通過(guò)更換不同的靶材(如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)?萍既請螅篒TO靶材是35項卡脖子技術(shù)之一。2018年,尤特成立ITO靶材部,目前已量產(chǎn)達到國際水平的ITO靶材,打破國外對ITO靶材的壟斷,為客戶(hù)提供磁控濺射鍍膜行業(yè)全棧式服務(wù)。獲得很薄的金屬薄膜。而關(guān)于透明導電材料的研究進(jìn)入一個(gè)新的時(shí)期,則是在第二次世界大戰期間,主要應用于飛機的除冰窗戶(hù)玻璃。
廣州市尤特新材料有限公司基本信息
公司網(wǎng)址:http://UVTMCOM.glass.com.cn
氧化鋯靶材,噴涂氧化鋯管靶,旋轉氧化鋯靶
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計量單位:套 供貨總量:9999 最小起訂量:1 產(chǎn)品單價(jià):6900.00 品牌: 規格型號: 包裝說(shuō)明: