直流磁控濺射電源

SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現。電源具有良好的負載特性，性?xún)r(jià)比高，適用于金屬及部分反應膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線(xiàn)制 50-60HZ±10％ 輸出方式 直流 輸出電壓 空載800V 滅弧時(shí)間 ≤20uS

2024-04-29 0

疊加偏壓電源

BOMB VS 系列偏壓電源工作于高頻二級變換模式，有單極脈沖、直流疊加脈沖、低壓直 流三種輸出方式，主電源電壓、副電源電壓、脈沖寬度獨立調整。靈活的輸出方式適用于工 具膜、裝飾膜以及工藝開(kāi)發(fā)等多種應用環(huán)境，特別是直流疊加脈沖的方式，在控制工件溫 度的同時(shí)，本底直流電壓有效維持了偏壓的連續狀態(tài)，對工具鍍膜十分有利。

2024-04-29 0

直流磁控濺射電源

SS-II系列磁控濺射電源工作于高頻變換模式，直流輸出,電源電流調整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現。電源具有良好的負載特性，性?xún)r(jià)比高，適用于金屬及部分反應膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW 輸入電源 AC380V三相四線(xiàn)制 50-60HZ±10％ 輸出方式 直流 輸出

2024-04-29 0

中頻交流磁控濺射電源

?? SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設為典型的40KHZ。中頻濺射電源以?xún)蓚�(gè)濺射靶作為負載，兩個(gè)靶交替工作，因此濺射靶一個(gè)濺射周期內一半以上的時(shí)間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時(shí)，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW

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中頻交流磁控濺射電源

?? SS-T系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。電源輸出頻率設為典型的40KHZ。中頻濺射電源以?xún)蓚�(gè)濺射靶作為負載，兩個(gè)靶交替工作，因此濺射靶一個(gè)濺射周期內一半以上的時(shí)間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時(shí)，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒，特別適用于反應膜層環(huán)境使用。 電源功率范圍 10-120KW

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大功率中頻磁控濺射電源

? ? SSTH系列中頻磁控濺射電源工作于二級高頻變換模式，交流正弦輸出。中頻濺射電源以?xún)蓚�(gè)濺射靶作為負載，兩個(gè)靶交替工作，因此濺射靶一個(gè)濺射周期內一半以上的時(shí)間為反向電壓截止濺射，使靶材表面積累電荷有的到充分泄放時(shí)，有利于抑制靶材弧光放電及表面中毒。SSTH系列中頻交流磁控濺射電源具備獨特的電弧抑制功能，有效克服電弧對膜層造成的瑕疵，預警系統實(shí)時(shí)顯示電源工作狀態(tài)，以便及時(shí)排除

2024-04-29 0

弧電源

SALN型弧電源工作于高頻變換模式，直流輸出，電源電流調整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現。電源具有負載補償電路，負載特性良好，由于采用電流傳感器作為電流取樣，有較高的電流穩定率，適用于各類(lèi)裝飾及工具鍍膜。另外，電源內置長(cháng)效引弧電阻并設短路指示，直觀(guān)顯示電源的工作狀態(tài)。電源采用軟開(kāi)關(guān)模式工作，效率高，電磁兼容性好。此外，本系列電源具有很高的性?xún)r(jià)比。 電源功率 4.8KW

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弧電源

SAHN型弧電源工作于高頻變換模式，直流輸出，電源電流調整通過(guò)改變高頻變換的脈沖寬度來(lái)實(shí)現。電源具有負載補償電路，負載特性良好，由于采用電流傳感器作為電流取樣，有較高的電流穩定率，適用于各類(lèi)裝飾及工具鍍膜。另外，電源內置長(cháng)效引弧電阻并設短路指導，直觀(guān)顯示電源的工作狀態(tài)。電流效率高，比硅整流電源節電40%左右。 電源功率 4.8KW 輸入

2024-04-29 0

偏壓電源

BOMB-IIIS系列偏壓電源工作于二級高頻變換模式，單極脈沖方式輸出。電源的電壓調 整通過(guò)改變高頻變換電路的電源電壓來(lái)實(shí)現，調壓電路具有1%的穩定率。高頻變換電路產(chǎn) 生10-90%寬度可調的脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨立調整，在滿(mǎn)足工藝所 需電壓同時(shí)，通過(guò)改變脈沖寬度來(lái)控制工件溫升。電源適用于各類(lèi)工具鍍膜及裝飾鍍膜

2024-04-29 0