產(chǎn)品簡(jiǎn)介

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黃光室是進(jìn)行IC晶片微影成像術(shù)的區域，將光阻材料利用旋鍍法被覆在晶園上，而后再放置于曝光機下進(jìn)行曝光，以使紫外線(xiàn)光源透過(guò)光罩照射于光阻而得到感光圖像，較后再以藥劑進(jìn)行顯影而得到實(shí)際圖像。

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早期曝光機的光源為全光譜光源，后演進(jìn)到G-LINE（436?mm）光源，目前較為廣泛使用的為I-LINE（436mm）光源，對于0.3ūm線(xiàn)寬以下的IC制程，則需采用深紫外線(xiàn)（deep?UV）248mm光源，甚至X光或電子束，目前光源較采用高壓水銀（汞）弧燈，由于其特性頻譜，所以須經(jīng)過(guò)濾光片以獲得所需的I－LINE(365mm)光線(xiàn)。

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為了避免光阻在曝光前、曝光后受到曝光機以外的光線(xiàn)照射而曝光，所以整個(gè)作業(yè)必須在黃光室下進(jìn)行，換言之，所有照明用的光源須加以過(guò)濾，照明燈底罩及各式隔間門(mén)及窗皆應具有過(guò)濾波長(cháng)380mm紫外光的能力。但必須注意的一點(diǎn)，有些黃色透明板雖然具有黃光，但對于紫外光卻未完全隔絕，嚴格來(lái)說(shuō)，這是不合格的產(chǎn)品。因為常被用于黃光室的5mm?黃色壓克力板，在I－LINE（365mm）附近確有不少的穿透率。

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如需黃光膜的具體參數，請與我司聯(lián)系，謹防假冒。

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