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鐵磁性靶材,非磁性靶材,磁控濺射靶
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2800.00元/套
供應標題:鐵磁性靶材,非磁性靶材,磁控濺射靶
價(jià)格:電儀
發(fā)布公司:廣州市尤特新材料有限公司
供貨總量:9999
聯(lián)系人:楊永添
發(fā)貨地點(diǎn):廣東 廣州 花都區
發(fā)布時(shí)間:2024年08月16日
有效期至:2025年09月13日
在線(xiàn)詢(xún)盤(pán):在線(xiàn)詢(xún)盤(pán)
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:未計算
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基本信息
ITO靶材成形的工藝有冷靜壓成。ITO/Si異質(zhì)結光電器件與p-n結光電池比較具有工藝簡(jiǎn)單,轉換效率高等特點(diǎn)。在靶材制造的過(guò)程中,需要經(jīng)歷粉末冶煉、粉末混合、壓制成型、氣氛燒結、塑性加工、熱處理、超聲探傷、機械加工、水切割、機械加工、金屬化、綁定、超聲、超聲清洗、檢驗出貨。ITO有著(zhù)多種功用,首先ITO為高帶隙材料,可用作光電池的光入射窗口,又可作為收集光電流的電極,在基底半導體Si上形成勢壘作為SIS結的一層以及抗反射層。銦是中國在儲量上占據優(yōu)勢的資源。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射。其中直流濺射設備原理簡(jiǎn)單,在濺射金屬時(shí),其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛。除可濺射導電材料外。也可濺射非導電的材料,同時(shí)還可進(jìn)行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。靶材。
大部分國家高純?yōu)R射靶材市場(chǎng)規模將超過(guò)160億美元,年復合增長(cháng)率達13%。近年來(lái),磁控濺射靶材是國家鼓勵和發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。此前,一方面,由于我國高等靶材一直受制于人,存在產(chǎn)業(yè)安全的隱患,急需高致密度、高純度、摻雜均勻、晶粒細小均勻、高電導率、高綁定率靶材的制備技術(shù)難題;另一方面,靶材行業(yè)缺乏理解、帶領(lǐng)客戶(hù)需求且懂新材料應用的專(zhuān)業(yè)化研發(fā)支撐隊伍。高純?yōu)R射靶材是廣泛應用于半導體、磁記錄、平面顯示等領(lǐng)域的核心材料,市場(chǎng)前景廣闊。據統計,2011年大部分國家靶材市場(chǎng)容量約為400億元,市場(chǎng)需求量以每年超過(guò)30%的速度快速增長(cháng)。隨著(zhù)電子行業(yè)的發(fā)展,我國已逐漸成為了世界上薄膜靶材的大需求地區之一,但在高等靶材我國尚沒(méi)有成熟的生產(chǎn)商,主要依賴(lài)****,市場(chǎng)空間巨大。
科技日報:ITO靶材屬于35項卡脖子技術(shù)之一。UVTM掌握濺射靶材生產(chǎn)的核心技術(shù)以后,實(shí)施極其嚴格的保密措施,限制技術(shù)擴散,同時(shí)不斷進(jìn)行橫向擴張和垂直整合,將業(yè)務(wù)觸角積極擴展到濺射鍍膜的各個(gè)應用領(lǐng)域。研制出適用不同應用領(lǐng)域的濺射靶材產(chǎn)品,才能在大部分國家濺射靶材市場(chǎng)中占得一席之地。UVTM自主創(chuàng )新開(kāi)發(fā)的能力,TFT-LCD用高品質(zhì)ITO靶材,正式投入量產(chǎn)。自此,靶材的國外技術(shù)壁壘,在顯示面板產(chǎn)業(yè)重要材料國產(chǎn)化的道路上又前進(jìn)了一步。廣州以打造“世界顯示之都”的目標,重點(diǎn)領(lǐng)域包括顯示器及配套(含濺射靶材),打造千億級平板顯示產(chǎn)業(yè)集群。中國已經(jīng)成為面板、半導體、光伏、觸摸屏等光電行業(yè)的制造大國和強國,對新材料有巨大的自身需求。
靶材主要應用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導體等領(lǐng)域。貨品的深加工技術(shù)朝高純化、精細化、的方向發(fā)展。由于鉭的表面能形成致密穩定、介電強度高的無(wú)定形氧化膜,易于準確方便地控制電容器的陽(yáng)極氧化工藝,面積,高低溫特性好、使用壽命長(cháng)、綜合性能不錯、其他電容器難以與之媲美,國外對高純金屬材料的開(kāi)發(fā)研究較早,英國和俄羅斯等國家意志以來(lái)都十分重視高純金屬材料的研制、生產(chǎn)和應用。其生產(chǎn)的高純金屬材料品種齊全、質(zhì)量好、產(chǎn)量大,產(chǎn)品純度高可達6N以上。貨品因其優(yōu)良的理化性能和高可靠性,成為保證半導體器件性能和發(fā)展半導體技術(shù)必不可少及不可替代的材料。此外,玫瑰金靶材、1N14靶材、2N18靶材等金銅合金靶材。在高等裝飾鍍膜中也有著(zhù)廣泛的應用。
靶材中毒是由于在濺射過(guò)程中帶有正電的離子聚集在靶表面。然后并沒(méi)有得到中和,便出現靶表面負偏壓逐步下降。這所謂的靶中毒現象。對于影響靶材中毒的因素是什么呢?1.影響靶中毒的因素主要是反應氣體和濺射氣體的比例,反應氣體過(guò)量就會(huì )導致靶中毒。反應濺射工藝進(jìn)行過(guò)程中靶表面濺射溝道區域內出現被反應生成物覆蓋或反應生成物被剝離而重新露金屬表面此消彼長(cháng)的過(guò)程。采用中頻電源或射頻電源打一個(gè)到兩個(gè)小時(shí),可以恢復。3.將靶材拆出來(lái),用砂紙拋光,也可解決?刂棋兡つJ降淖儞Q:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應曲線(xiàn),使進(jìn)氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的****,確保工藝過(guò)程始終處于沉積速率陡降前的模式。防止靶材中毒,首先要保證真空室不漏。清理內部,除去揮發(fā)成分等。
影響磁控靶濺射電壓的主要因素有:靶面磁場(chǎng)、靶材材質(zhì)、氣體壓強、陰-陽(yáng)極間距等。學(xué)者詳細分析這些因素距對靶濺射電壓的影響。一、靶面磁場(chǎng)對靶濺射電壓的影響。磁控靶的陰極工作電壓,隨著(zhù)靶面磁場(chǎng)的增加而降低,也隨著(zhù)靶面的濺射刻蝕槽加深而降低。濺射電流也隨著(zhù)靶面的濺射刻蝕槽加深而加大。這是因為靶的濺射刻蝕槽面會(huì )越來(lái)越接近靶材后面的較好磁鋼的強磁場(chǎng)。因此,靶材的厚度是有限制的。較厚的非磁性靶材能夠在較強的磁場(chǎng)中使用。當磁場(chǎng)強度增加到01T以上時(shí),磁場(chǎng)強度對濺射電壓的影響就不明顯了。鐵磁性靶材會(huì )對磁控靶的濺射造成影響,由于大部分磁力線(xiàn)從鐵磁性材料內部通過(guò),使靶材表面磁場(chǎng)減少,需要很高電壓才能讓靶面點(diǎn)火起輝。除非磁場(chǎng)非常的強。否則磁性材靶材必須比非磁性材料要演,才能起輝和正常運行(永磁結構的Ni靶的典型值小于016cm,磁控靶非特殊設計較大值通常不宜超過(guò)3mmFeco靶的較大值不超過(guò)2mm;電磁結構的靶可以濺射厚一些的靶材,甚至可達6mm厚)才能正常運行。
廣州市尤特新材料有限公司基本信息
公司網(wǎng)址:http://UVTMCOM.glass.com.cn
鐵磁性靶材,非磁性靶材,磁控濺射靶
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計量單位:套 供貨總量:9999 最小起訂量:1 產(chǎn)品單價(jià):2800.00 品牌: 規格型號: 包裝說(shuō)明: