真空鍍膜機是目前制作真空條件應用較為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統采用“擴散泵 機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold;組成。真空主體;真空腔根據加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用較多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實(shí)等，真空腔各部分有連接閥，用來(lái)連接各抽氣泵浦。抽氣系統：排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。

在半導體濺射靶材方面，國內與國際差距主要在濺射靶材上游材料（非常高純原材料方面）與服務(wù)于集成電路先進(jìn)制程的新產(chǎn)品。濺射鍍膜技術(shù)起源于國外，所需要的濺射材料——靶材也起源發(fā)展于國外。國外靶材公司，在靶材研發(fā)生產(chǎn)方面已有幾十年的積淀。同時(shí)，隨著(zhù)半導體工業(yè)技術(shù)創(chuàng )新的不斷深化，以美國、日本和德國為代表的半導體廠(chǎng)商加強對上游原材料的創(chuàng )新力度，從而更大限度地保證半導體產(chǎn)品的技術(shù)先進(jìn)性。

當前中國靶材制造商在部分靶材制造工藝上已達到了國際先進(jìn)水平。產(chǎn)品質(zhì)量獲得國內外下游廠(chǎng)商的認可；同時(shí)通過(guò)在下游企業(yè)工廠(chǎng)附近建廠(chǎng)。靶材價(jià)格可能會(huì )比國外廠(chǎng)商低10%-15%，替代必要性和戰略意義明顯。日韓和在大部分國家半導體產(chǎn)業(yè)鏈中有重要地位。元器件及材料的生產(chǎn)對于貨品靶材面板顯示產(chǎn)業(yè)的基礎環(huán)節，所使用的PVD鍍膜材料主要為濺射靶材，其性能如分辨率、透光率等都與濺射薄膜的性能密切相關(guān)。

目前，國內靶材廠(chǎng)商主要聚焦在低端產(chǎn)品領(lǐng)域，在半導體、平板顯示器和太陽(yáng)能電池等市場(chǎng)還無(wú)法與國際巨頭一體競爭，但依靠國內的巨大市場(chǎng)潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價(jià)格優(yōu)勢，它們已經(jīng)在國內市場(chǎng)占有一定的市場(chǎng)份額，并逐步在個(gè)別細分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠(chǎng)的市場(chǎng)空間。面板靶材：主要用于制作ITO玻璃及觸控屏電極平板。顯示行業(yè)主要在顯示面板和觸控屏面板兩個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節需要使用靶材濺射鍍膜。用于高清電視、筆記本電腦等。平板顯示靶材技術(shù)要求也很高受益下游需求逐步向國內轉移，我國的靶材****企業(yè)正在乘勢而上，在各自的細分領(lǐng)域進(jìn)行技術(shù)打破和產(chǎn)能提升。在超大規模集成電路用高純金屬靶材領(lǐng)域，國內的靶材公司成功打破美國、日本跨國公司的壟斷格局。

從IGZO和AMOLED兩種面板的制造性和成本上看，現在大部分國家主要的顯示器生產(chǎn)線(xiàn)還是LCD工廠(chǎng)，IGZO只是制作工藝上的改變，投入新機的成本較少。但AMOLED等蒸鍍設備需要另外購入生產(chǎn)線(xiàn)。且未來(lái)能否對應7代線(xiàn)以上大型玻璃基板還是未知數，這么一來(lái)，整體的生產(chǎn)成本還是IGZO較有優(yōu)勢。另外，IGZO面板的TFT元件和線(xiàn)路都在縮小，在相同面積下，原本只能裝入一顆subpixel的區域，現在可以裝入四個(gè)，而被遮光的面積卻沒(méi)有跟著(zhù)變大，實(shí)現了“同等透過(guò)率2倍高精細化”，即可在很小的單位面積上實(shí)現很高的物理分辨率，而不需要增加背光的強度，這對于即將進(jìn)入的4K時(shí)代更具意義，IGZO面板能夠達到500ppi，而AMOLED現階段無(wú)法做到300ppi。

是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過(guò)在PVD設備中用離子對目標物進(jìn)行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱(chēng)為濺射靶材。氮化物是在電子和光電子應用方面有較大潛力的新型半導體材料,它在室溫下具有高電子遷移率和良好導電性的優(yōu)勢。是目前大部分國家半導體研究的****和熱點(diǎn)，是研制微電子器件、光電子器件的新型半導體材料。它具有寬的直接帶隙、強的原子鍵、高的熱導率、化學(xué)穩定性好(幾乎不被任何酸腐蝕)等性質(zhì)和強的抗輻照能力。顯示行業(yè)主要在顯示面板和觸控屏面板兩個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節需要使用靶材濺射鍍膜。用于高清電視、筆記本電腦等。

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬(wàn)平方米。尤特是一家專(zhuān)注于時(shí)尚消費電子產(chǎn)業(yè)、節能綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)、新材料新技術(shù)開(kāi)發(fā)和應用的重要高新技術(shù)企業(yè)。尤特以生產(chǎn)信息存儲記錄材料為起點(diǎn)，經(jīng)過(guò)10多年的開(kāi)拓與發(fā)展，產(chǎn)業(yè)技術(shù)不斷迭代與升級，尤特的技術(shù)及應用涉獵范圍逐步擴大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環(huán)保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術(shù)及材料；信息存儲材料、導電散熱材料等。尤特一直倡導“新材料、促環(huán)保、美生活”企業(yè)使命。尤特遵循科學(xué)體系管理，先后通過(guò)《質(zhì)量管理體系》、《環(huán)境管理體系》、《職業(yè)健康與安全管理體系》認證并有效運行，產(chǎn)品符合全部環(huán)境及安全標準；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認證等。尤特重視產(chǎn)品研發(fā)及技術(shù)創(chuàng )新，先后與"武漢大學(xué)"、"華南理工大學(xué)"、"中南大學(xué)"等高校、研究所建立"產(chǎn)學(xué)研"合作機制，并承擔多項省市立項的科研項目，公司目前已擁有幾十項自主研發(fā)新興材料及工藝的知識產(chǎn)權，是廣州市扶持科技型要點(diǎn)培育上市企業(yè)。尤特先后獲得相關(guān)機構的授予多個(gè)榮譽(yù)：如“國家生產(chǎn)力促進(jìn)獎、國家有名商標、廣東省守合同重信用企業(yè)、廣東省雇主責任示范企業(yè)、廣州市安全生產(chǎn)標準化達標企業(yè)、廣州市工程技術(shù)研發(fā)中心、廣州科技小巨人企業(yè)、地方納稅企業(yè)”等榮譽(yù)。尤特全體同仁秉承“創(chuàng )造價(jià)值，分享價(jià)值“的核心價(jià)值觀(guān)，借鑒以往成功管理運營(yíng)經(jīng)驗，持續深挖磁控濺射鍍膜材料下游應用市場(chǎng)，不斷拓寬市場(chǎng)應用領(lǐng)域，做優(yōu)做強鍍膜材料產(chǎn)業(yè),將公司打造為--磁控濺射靶材行業(yè)者。

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