北京天恒誠悅科技有限公司
主營(yíng)：PLD真空鍍膜機,多功能離子鍍膜機,卷繞鍍膜機,蒸發(fā)鍍膜機,ICP等離子刻蝕設備,多弧離子鍍膜機,ITO真空玻璃鍍膜機,CVD金剛石生產(chǎn)設備,真空排氣臺,進(jìn)口機組及泵,鍍膜專(zhuān)項使用電源,真空標準件,PLD真空鍍膜機,多功能離子鍍膜機,卷繞鍍膜機,蒸發(fā)鍍膜機,ICP等離子刻蝕設備,多弧離子鍍膜機,ITO真空玻璃鍍膜機,CVD金剛石生產(chǎn)設備,真空排氣
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供應PECVD增強型本設備為多功能型超高真空等離子增強化學(xué)氣相沉積設備主要由全真空專(zhuān)用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統，電源，生長(cháng)機體載體及溫控系統，獨立排氣和生長(cháng)壓力調節系統，冷卻循環(huán)水輔助設備等組成。整機結構緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設備控制系統采用邏輯按鈕手動(dòng)控制與工控機自控控制可選。實(shí)現真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si：H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaA
2011-06-22 0
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