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由中國建筑材料聯(lián)合會(huì )科技教育委員會(huì )、清華大學(xué)、中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì )、中國建筑玻璃與工業(yè)玻璃協(xié)會(huì )、中國建筑材料科學(xué)研究總院、中國建筑材料檢驗認證中心、上海強華石英有限公司、北京中關(guān)村科技園區管委會(huì )等單位的9名相關(guān)人士組成的鑒定小組,對江蘇省連云港市東?h宏偉石英制品有限公司提出的“半導體產(chǎn)業(yè)用直徑260毫米透明石英玻璃管材研制與應用”籌備了項目鑒定會(huì )。在鑒定會(huì )上,相關(guān)人士們通過(guò)參觀(guān)生產(chǎn)現場(chǎng)、閱讀申報資料、聽(tīng)取研究報告和查新資料、相關(guān)人士質(zhì)疑、申報單位答辯等多個(gè)環(huán)節后,相關(guān)人士鑒定小組一致通過(guò)了部級新產(chǎn)品和其科技成果的鑒定。
與會(huì )相關(guān)人士通過(guò)對生產(chǎn)現場(chǎng)的考察和會(huì )議討論,一致認為東?h宏偉石英制品有限公司對用連熔工藝制備直徑200—260毫米大規格石英玻璃管核心技術(shù)及其設備的優(yōu)化設計,開(kāi)展了大量研發(fā)工作,攻克了一系列的關(guān)鍵技術(shù)。
其成果的突出創(chuàng )新點(diǎn)是:1、在石英原料的提純加工技術(shù)上,采用了四組化學(xué)浮選法,提純后的石英原料純度達到99.99%,13種雜質(zhì)元素總含量小于20ppm;2、在大尺寸直徑540毫米鎢坩鍋和成形器的結構優(yōu)化設計與匹配技術(shù)以及物料、氣控、水控、電控系統的均衡上創(chuàng )新了優(yōu)化配置技術(shù);3、直徑200—260毫米高質(zhì)量透明石英管材具有規格尺寸大、純度和精度高、質(zhì)量一致性好等特點(diǎn),填補了國內同類(lèi)產(chǎn)品的空白,產(chǎn)品的主要技術(shù)性能指標達到了全部同類(lèi)產(chǎn)品先進(jìn)水平。
集成電路作為信息產(chǎn)業(yè)的基礎和高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的重中之重,半導體產(chǎn)業(yè)是國家信息產(chǎn)業(yè)科技發(fā)展“十一五”規劃和“2020年中長(cháng)期規劃綱要”的要點(diǎn)發(fā)展領(lǐng)域。大規格石英玻璃管材已成為半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展不可缺少的重要產(chǎn)品之一。目前國內集成電路產(chǎn)業(yè)需求大規格石英玻璃管材,大部分從美國進(jìn)口。而此次通過(guò)鑒定的半導體產(chǎn)業(yè)用透明石英玻璃擴散管材產(chǎn)品,攻克了連熔爐拉制外徑大于260毫米以上大規格石英玻璃管材的難題,特別在連熔爐關(guān)鍵技術(shù)裝備的集成創(chuàng )新上,掌握了生產(chǎn)大規格石英玻璃管的成套技術(shù),充分體現了企業(yè)的自主創(chuàng )新能力和水平。
這次鑒定會(huì )由中國建筑材料聯(lián)合會(huì )科技部籌備并主持。
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