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玻璃底板上涂布保護膜的無(wú)旋轉涂布技術(shù)
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東京應化工業(yè)在東京舉辦的展會(huì )上展示了通過(guò)無(wú)旋轉涂布在第七代玻璃底板上涂布保護膜的樣品。玻璃底板的尺寸為1870mm×2200mm。該公司表示：“這是在支持第七代生產(chǎn)線(xiàn)的量產(chǎn)版無(wú)旋轉涂布設備的靠前號機上試制的”。
該公司此次開(kāi)發(fā)的支持第七代生產(chǎn)線(xiàn)的無(wú)旋轉涂布設備，實(shí)現了和此前支持第五代設備一樣的制程時(shí)間（Tact Time）。使用支持第五代生產(chǎn)線(xiàn)的設備時(shí)50mm/秒的速度，此次提高到了150～200mm/秒。該公司計劃2004年9月開(kāi)始供應這一支持第七代生產(chǎn)線(xiàn)的保護膜涂布設備。
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