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AST聚昌出廠(chǎng) 半導體用 電子束鍍膜機 蒸發(fā)臺
訂貨量（臺）
價(jià)格（不含稅）
1
45000.00元/
供應標題：AST聚昌出廠(chǎng) 半導體用 電子束鍍膜機 蒸發(fā)臺
價(jià)格：電儀
發(fā)布公司：東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司
供貨總量：10
聯(lián)系人：楊小姐
發(fā)貨地點(diǎn)：廣東 東莞 東莞市
發(fā)布時(shí)間：2021年12月10日
有效期至：2022年01月10日
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產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量：未計算
溫馨提醒：請消費者做好對國際包裹的防疫措施，商品需要有進(jìn)口物品三證一報告（供貨者許可證、入境檢疫證明、預防性消毒證明和新冠病毒核酸檢測報告）
性能：專(zhuān)業(yè)的鍍膜玻璃生產(chǎn)設備，效率高，產(chǎn)量高
用途：用于生產(chǎn)鍍膜玻璃等其他
英文名：Coated glass production line
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基本信息
應用
AST聚昌科技PEVA系列高階*密電子束蒸鍍系統乃是針對Power IC ( Ti /Ni/Ag )、LED (Cr/Pt/Au ) 及MEMS等之金屬電極、透明導電膜(ITO)與光學(xué)膜( SiO2/TiO2)所設計的批式量產(chǎn)設備，擁有獨特的蒸鍍反應室設計，可以提供更高的產(chǎn)能，與更為精準、更可靠的製程需求。
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特點(diǎn)
AST聚昌科技Peva-900E/I系統的特點(diǎn)包括
(1) *佳化鍍鍋與坩鍋設計因應 Lift-Off 與低溫製程需求
(2) Run to Run膜厚均勻性可控制至＜±3%，以確保整體產(chǎn)品良率
(3) *佳化蒸鍍腔及排氣系統設計，可有效降低Cycle time，並提昇材料利用率（提高20%）
(4) 高通用與拆換便利性設計(可提昇至200mm大尺寸、次微米、Lift-Off 製程能力)，製程應用不受限
(5) 特殊設計的夾治具，針對薄片製程（微米），可靠度極佳
(6) *精簡(jiǎn)地板空間，可有效提高無(wú)塵室使用空間
(7) 全自動(dòng)化、智慧型PC操控系統，提高全廠(chǎng)自動(dòng)化之需求。
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沉積室泵送系統和真空測量：
1臺CTI Torr-400，低溫泵（水為16000升/秒），16“ID ASA翻邊。
1臺CTI 9600，液氦低溫水冷壓縮機（10'He管線(xiàn)）
低溫泵自動(dòng)*生功能。
1 AST，高真空閥3位，帶可調節流閥位置（3個(gè)位置），ASA 16“-（19”x 15“）法蘭，氣動(dòng)執行機構打開(kāi)/關(guān)閉。
1臺Leybold WA251和D60C，1臺羅茨泵和1臺兩級旋轉葉片泵（5000升/分鐘），ISO 63進(jìn)口法蘭。
1個(gè)粗加工閥，ISO 63，波紋管密封，通過(guò)氣動(dòng)執行機構打開(kāi)/關(guān)閉。
1個(gè)通風(fēng)閥，KF 25，波紋管密封隔離。
1個(gè)防湍流閥，直徑1/4“，用于延遲通風(fēng)。
1個(gè)前線(xiàn)閥，KF 40，波紋管密封，通過(guò)氣動(dòng)執行機構打開(kāi)/關(guān)閉。
壓縮空氣分配。
1 GP 307，真空計控制器。（atm~5.0E-10托）
1 GP 274，離子測量頭（1.0E-02托~ 1.0E-09托）。
2個(gè)GP 275，帶鎢絲的Pirani頭。（atm~5.0E-04托）
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基板臺配件：
基板載體旋轉驅動(dòng)器
1個(gè)適配器法蘭，ASA 10“直徑至5”直徑孔，用于PevaAST系統。
1個(gè)法蘭，ASA 3“直徑，用于連接層厚測量系統。
1個(gè)間接驅動(dòng)齒輪馬達通過(guò)高性能的旋轉運動(dòng)鐵流體饋通。
單基板載體轉速05~20rpm。
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基底載體
1個(gè)帶形狀的升降式穹頂
預加工，可接受總共140件2“晶圓
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工藝源配件
Telemark，電子束蒸發(fā)器，10 kW 270型
偏轉270o的光源。
角齒輪傳動(dòng)基板通過(guò)坩堝指數。
水冷饋通。
X和Y掃描信號饋通。
旋轉坩堝，帶6個(gè)40毫升的凹槽。
坩堝控制裝置。
驅動(dòng)電機。
遠程控制：
高壓電源裝置10 kW，帶可變高壓和光束定位控制。
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快門(mén)驅動(dòng)：
氣動(dòng)百葉窗驅動(dòng)器90o（安裝在氣缸上的空氣流量控制）
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過(guò)程控制器/層厚測量：
Maxtek MDC-360C，層厚、速率和工藝
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控制單元：
帶有RS-232接口的過(guò)程控制。
9組材料參數的存儲空間，以及99個(gè)工藝序列和999個(gè)工藝步驟。
從材料和工藝參數開(kāi)始的100個(gè)順序步驟的順序程序。
一個(gè)過(guò)程*多可重復99次。
帶6MHz振蕩器的石英傳感器。
帶冷卻水管和信號電纜。
東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司基本信息
主營(yíng)行業(yè)：儀器儀表玻璃//光學(xué)玻璃儀器儀表玻璃//儀表玻璃 公司注冊地址：東莞市茶山鎮茶山村茶南路15號 法人代表：李由根
員工人數：50-100人 廠(chǎng)房面積：8000 年營(yíng)業(yè)額：人民幣1000萬(wàn)元/年-人民幣2000萬(wàn)元/年
年進(jìn)口額：人民幣100萬(wàn)元/年-人民幣200萬(wàn)元/年 年出口額：人民幣100萬(wàn)元/年-人民幣200萬(wàn)元/年 主要市場(chǎng)：大陸,港澳臺地區,全球,
客戶(hù)群：富士康 華維
公司名稱(chēng):東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司
注冊資本:人民幣200萬(wàn)元/年-人民幣500萬(wàn)元/年 公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn主營(yíng)產(chǎn)品：二次元影像測量?jì)x,工業(yè)變倍鏡頭,標定板,分辨率板,校準玻璃線(xiàn)紋尺,玻璃菲林尺子,面補,分光鏡片,反光鏡,棱鏡,透鏡,平行平晶,平面平晶,光學(xué)玻璃工作臺,投影屏,Z軸測試儀 公司成立年份：2010
公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn
產(chǎn)品屬性：
計量單位：臺 供貨總量：10 最小起訂量：1 產(chǎn)品單價(jià)：45000.00 品牌： 規格型號： 包裝說(shuō)明：
員工人數：50-100人 廠(chǎng)房面積：8000 年營(yíng)業(yè)額：人民幣1000萬(wàn)元/年-人民幣2000萬(wàn)元/年
年進(jìn)口額：人民幣100萬(wàn)元/年-人民幣200萬(wàn)元/年 年出口額：人民幣100萬(wàn)元/年-人民幣200萬(wàn)元/年 主要市場(chǎng)：大陸,港澳臺地區,全球,
客戶(hù)群：富士康 華維
公司名稱(chēng):東莞市宏誠光學(xué)制品有限公司
注冊資本:人民幣200萬(wàn)元/年-人民幣500萬(wàn)元/年 公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn主營(yíng)產(chǎn)品：二次元影像測量?jì)x,工業(yè)變倍鏡頭,標定板,分辨率板,校準玻璃線(xiàn)紋尺,玻璃菲林尺子,面補,分光鏡片,反光鏡,棱鏡,透鏡,平行平晶,平面平晶,光學(xué)玻璃工作臺,投影屏,Z軸測試儀 公司成立年份：2010
公司網(wǎng)址：http://hcgxcy.glass.com.cn
產(chǎn)品屬性：
計量單位：臺 供貨總量：10 最小起訂量：1 產(chǎn)品單價(jià)：45000.00 品牌： 規格型號： 包裝說(shuō)明：
AST聚昌出廠(chǎng) 半導體用 電子束鍍膜機 蒸發(fā)臺產(chǎn)品概況
光學(xué)透明材料具有質(zhì)量輕、耐沖擊強度高、易于加工成型等優(yōu)良特點(diǎn)，最常見(jiàn)的光學(xué)透明材料-有機玻璃(PMAA)是應用于航空透明件最為廣泛的材料之一，可加工制作成大尺寸、多曲率、視野寬闊的前風(fēng)擋及座艙航空透明件，還包括各型復雜曲率的機身觀(guān)察窗、燈罩及各式儀表蓋等等；隨著(zhù)科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，航空器隱身技術(shù)的發(fā)展，以及未來(lái)電子電磁對抗，實(shí)現電磁屏蔽功能的需要，有機玻璃透明件作為機身的重要組成構件之一，也必須實(shí)現隱身功能，以適應未來(lái)的戰爭環(huán)境。因此，在有機光學(xué)材料特別是航空有機玻璃表面鍍制各類(lèi)導電膜層，是實(shí)現航空透明件隱身的重要手段之一。長(cháng)期以來(lái)，由于航空有機玻璃的耐溫點(diǎn)低，無(wú)法達到鍍制功能膜所需高溫，常規的真空磁控濺射工藝難以實(shí)現，加工制造難度非常大，所以有機玻璃表面導電功能膜系的制造必須采用特種工藝進(jìn)行鍍制。為解決這一關(guān)鍵技術(shù)障礙，經(jīng)過(guò)公司技術(shù)人員努力，采用了低溫直流輝光等離子真空磁控濺射技術(shù)，在高等級潔凈凈化室內，成功的在低溫基片上制備出高質(zhì)量的各類(lèi)導電膜系。各類(lèi)導電膜系具有透光性好，膜層致密，膜層阻值均勻，耐磨性能好等優(yōu)點(diǎn)。