光學(xué)薄膜是指利用光學(xué)干涉原理在光學(xué)玻璃基底上鍍制的一層或多層介質(zhì)或金屬薄膜，以改變光線(xiàn)傳遞特性，包括光的反射、透射、吸收、偏振等。光學(xué)薄膜器件是各種光學(xué)儀器、圖像顯示產(chǎn)品、光學(xué)存儲設備的核心部件。目前，光學(xué)鍍膜及膠合工序通常在千級潔凈等級環(huán)境下完成。

光學(xué)薄膜器件制造工藝流程精密光學(xué)薄膜器件的面型精度通常要求0.001~ 0.100μm，角精度秒級，表面粗糙度達到0.012 5μm，甚至更高。若精密光學(xué)薄膜器件出現表面缺陷，勢必會(huì )增加光學(xué)表面的散射和對入射光的吸收，繼而直接影響整個(gè)光學(xué)系統的性能，而表面顆粒物是導致器件表面出現缺陷的重要原因之一。

首先利用超聲波清洗機的超聲波空化作用和清洗劑的清潔脫水作用，實(shí)現玻璃表面的高度潔凈，然后將清潔好的基片裝到鍍膜卡具上，利用光的干涉原理在光學(xué)零件表面上沉積一層 （或多層） 金屬（或介質(zhì)） 薄膜，最后根據光學(xué)薄膜器件結構，使用環(huán)氧樹(shù)脂膠對多片光學(xué)薄膜鏡片半成品黏合，并 將組合的濾光片裝配在金屬外殼中。精密光學(xué)薄膜器件的鍍膜及膠合過(guò)程對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求非常高。其中，基片組裝、光學(xué)鍍膜、膠合裝配工序均需要在潔凈環(huán)境下完成， 以避免光學(xué)薄膜器件出現表面缺陷，繼而影響器件乃至整個(gè)光學(xué)系統的性能，同時(shí)在超聲清洗工藝環(huán)節用到的洗劑及脫水劑、鍍膜過(guò)程用到的硫 （氟）化物等鍍膜材料以及在裝配膠合工序用到的酒精均會(huì )對生產(chǎn)環(huán)境造成污染，需要進(jìn)行局部排風(fēng)收集處理后排放。

光學(xué)薄膜器件生產(chǎn)線(xiàn)功能區劃分

根據光學(xué)薄膜器件工藝流程對新建生產(chǎn)線(xiàn)進(jìn)行功能區劃分，鍍膜設備放置在機組區，不會(huì )對光學(xué)薄膜器件質(zhì)量產(chǎn)生任何影響，凈化等級設定為十萬(wàn)級。產(chǎn)品流方面，基片在超聲清洗區洗凈后，通過(guò)傳遞窗傳送至基片裝卡區進(jìn)行裝片，然后運送至光學(xué)鍍膜區裝機并對基片實(shí)施鍍膜作業(yè)，鍍制后的半成品轉入膠合裝配區進(jìn)行多片鍍膜器件膠合組裝作業(yè)。為降低空調能耗，節約日常運行成本，超聲清洗區潔凈度等級設計為萬(wàn)級，在清洗區終端裝配風(fēng)機過(guò)濾機組（Fan Filter Unit，FFU）局部?jì)艋瘑卧�，確保清潔后的基片處于千級凈化等級環(huán)境下；基片裝卡區及光學(xué)鍍膜區潔凈度等級為千級；膠合裝配區潔凈度等級設計為萬(wàn)級，并在膠合裝配工序上方裝配FFU局部?jì)艋瘑卧�，使裝配膠合作業(yè)區達到千級凈化等級，以滿(mǎn)足整個(gè)作業(yè)過(guò)程潔凈度的需求。

各功能區環(huán)境參數設計

光學(xué)薄膜器件在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內環(huán)境空氣品質(zhì)的要求嚴格，生產(chǎn)線(xiàn)各功能區潔凈度等級、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設備排風(fēng)均應滿(mǎn)足光學(xué)薄膜器件的生產(chǎn)工藝需求。在這一生產(chǎn)線(xiàn)潔凈方案設計中，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。

需要說(shuō)明的是，各功能區對溫濕度、排氣、照度、氣體排放等環(huán)境需求依據GB 50073-2013《潔凈廠(chǎng)房設計規范》以及產(chǎn)品特性、生產(chǎn)工藝要求等因素來(lái)進(jìn)行設計，同時(shí)給出了排氣功能區需要局部排氣的氣體類(lèi)型。

潔凈室 HVAC 系統及其實(shí)現形式

潔凈室HVAC系統流程萬(wàn)級、十萬(wàn)級凈化空調采用一次、二次回風(fēng)系統（見(jiàn)圖5），一次回風(fēng)與新風(fēng)混合并經(jīng)過(guò)表冷器處理后達到機器露點(diǎn)狀態(tài)后再與室內回風(fēng)混合一次，控制混合比即可達到室內送風(fēng)狀態(tài)，該系統可以減去一次加熱，避免冷熱抵消的情況發(fā)生，適合超聲清洗及膠合裝配作業(yè)室內環(huán)境控制。

千級潔凈室供熱通風(fēng)與空氣調節（Heating, Ventilation and Air Conditioning，HVAC）采用組合 式新風(fēng)機組 風(fēng)機過(guò)濾機組 干盤(pán)管 （MAU FFU DC）系統方式實(shí)現（見(jiàn)圖6），即新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機組集中處理送至靜壓箱與干盤(pán)管處理后的回風(fēng)混合，再通過(guò)FFU送入室內。其中MAU承擔除濕功能，FFU的風(fēng)量承擔凈化風(fēng)量和空調（降溫）風(fēng)量角色，DC主要負責溫度的控制。該系統具有凈化等級高、溫濕度精度高、風(fēng)量大、節能、FFU過(guò)濾器更換方便等特點(diǎn)，更適合面積大、凈化級別高、風(fēng)量需求大的光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)。

結合整個(gè)生產(chǎn)線(xiàn)的運行特點(diǎn)，并且充分考慮整個(gè)空調系統能耗，按照各功能區的潔凈等級及溫濕度需求，整個(gè)光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)核心功能區共設計了3套HVAC系統。其中，超聲清洗區和機組區共用一套系統，基片裝卡區和光學(xué)鍍膜區共用一套機 組，膠合裝配區設計一套機組。

換氣次數及新風(fēng)量

潔凈空調系統氣流組織為亂流型，空氣處理機 組采用雙層金屬保溫壁板組裝式空調機組，外壁板為彩鋼板。采用上送下回方式，在離地 200 mm 處設置回風(fēng)口 （帶過(guò)濾網(wǎng)）。根據凈化要求，各功能 區換氣次數確定為：十萬(wàn)級換氣次數 15 次/h，萬(wàn)級30 次/h，千級 60 次/h。潔凈房間風(fēng)量根據空調熱平衡計算風(fēng)量和凈化換氣次數所需風(fēng)量。新風(fēng)量為補償室內排風(fēng)和保持室內正壓值之和，并且保證室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40 m3。恒溫恒濕空調系統送風(fēng)量根據人員所需新風(fēng)量、補償排風(fēng)和保持室內正壓所需新風(fēng)量之和以及新風(fēng)除濕所需新風(fēng)量。

空調通風(fēng)系統測量及控制

空調通風(fēng)系統的風(fēng)量控制：凈化空調系統送風(fēng)機配有變頻控制器，送風(fēng)總管上設有風(fēng)量傳感器。風(fēng)量傳感器的輸出信號控制變頻器，調節風(fēng)機轉數，使系統風(fēng)量保持設計要求�？照{系統的溫濕度控制及監測：凈化空調系統溫濕度自控方式采用回風(fēng)溫度的控制方式�；仫L(fēng)總管上設有溫度傳感器；表冷器、加熱器的回水管上 設有電動(dòng)二通閥。在夏季時(shí)，回風(fēng)溫度控制表冷器冷量，達到控制室內溫度要求；在冬季時(shí)，回風(fēng)溫度控制加熱器的加熱量，達到控制室內溫度要求。

本文依據GB 50073-2013《潔凈廠(chǎng)房設計規 范》，并結合光學(xué)薄膜濾光器件生產(chǎn)工藝需求對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈技術(shù)進(jìn)行設計，并綜合考慮了一次性投資及運行成本。在后續詳細設計中，可以結合具 體情況進(jìn)行進(jìn)一步改進(jìn)，以確保潔凈廠(chǎng)房滿(mǎn)足光學(xué)薄膜器件生產(chǎn)需求。

江西天加凈化工程有限公司，是一家專(zhuān)業(yè)從事無(wú)塵潔凈車(chē)間空氣凈化、恒溫恒濕中央空調、通風(fēng)工程設計與施工的服務(wù)型工程公司，公司憑借多年的經(jīng)驗在生物制藥、食品藥品、精細化工、精密儀器、光電光學(xué)、衛生等行業(yè)中建設了許多優(yōu)質(zhì)的凈化工程，獲得所有客戶(hù)的高度認可。

江西天加凈化工程有限公司一直秉承“誠信、優(yōu)質(zhì)、高效、創(chuàng )新”的理念；從設計、規 劃、工程材料采購到每個(gè)施工安裝環(huán)節均有嚴格的操作程序和規范，力求精益求精，使項目在符合客戶(hù)要求的基礎上降低項目后期使用成本，搞高使用 效率，以及為我們的客戶(hù)帶來(lái)效益更大化，從而達到雙贏(yíng)。

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