供應用于生產(chǎn)TCO玻璃的LPCVD

? 理想能源以開(kāi)發(fā)半導體設備的嚴謹態(tài)度和精細工藝來(lái)設計制造太陽(yáng)能光伏設備。自2010年3月成功開(kāi)發(fā)出靠前臺LPCVD設備以來(lái)，理想能源的設備已經(jīng)在客戶(hù)處平穩運行至今。理想能源的設備具有以下特點(diǎn) (加插圖1及插圖2)： ? ? 精細穩定：所鍍氧化物薄膜厚度可在100-1700納米范圍內自由設定，膜厚均勻性低于10% ? ? 高產(chǎn)能：根據所鍍膜厚度不同，鍍膜節拍范圍40-170秒，設備有效工

2011-05-18 0