真空鍍膜設備真空泵的較限壓強：真空鍍膜真空泵的較限壓強單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指泵在入口處裝有標準試驗罩并按規定條件工作，真空鍍膜真空泵在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的較低壓強。
　　
　　真空鍍膜設備真空泵的抽氣速率：真空鍍膜真空泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標準試驗罩，并按規定條件工作時(shí)，真空鍍膜真空泵從試驗罩流過(guò)的氣體流量與在試驗罩位置測得的平衡壓強之比。
　　
　　真空鍍膜設備真空泵的非常大工作壓強：真空鍍膜真空泵的非常大工作壓強單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指對應非常大抽氣量的入口壓強，在此壓強下，真空鍍膜真空泵能連續工作而不惡化或損壞。
　　
　　真空鍍膜設備真空泵的非常大前級壓強：真空鍍膜真空泵口非常大前級壓強單位是Pa，真空鍍膜真空泵是指超過(guò)了能使泵損壞的前級壓強。