我國TFT-LCD產(chǎn)業(yè)近年來(lái)發(fā)展迅猛，投入資金規模逐年加大，而投入資金的主要部分用于TFT-LCD工藝設備的采購。來(lái)自DisplaySearch的統計數據表明，2006年大部分國家對液晶設備的投入資金高達118億美元。因此，很多設備生產(chǎn)廠(chǎng)商對這個(gè)市場(chǎng)趨之若鶩。包括應用材料、東京電子這樣的半導體設備公司，已經(jīng)將觸角伸向TFT-LCD市場(chǎng)，他們成立下屬公司專(zhuān)門(mén)負責TFT-LCD設備的生產(chǎn)銷(xiāo)售及技術(shù)支持�？上驳氖菄鴥仍O備廠(chǎng)商的設備也已進(jìn)入液晶大生產(chǎn)線(xiàn)，雖然所占比例很小，但畢竟邁出重要一步。

    國產(chǎn)TFT-LCD設備嶄露頭角

    TFT-LCD設備由于其工藝性要求高、制造難度大，一直被國外少數公司壟斷。近年來(lái)由于我國設備廠(chǎng)商技術(shù)水平的不斷提升，相繼研制生產(chǎn)出部分LCD制造設備及測試儀器。測試儀器以高校和研究所為主，如清華大學(xué)、長(cháng)春物理所都開(kāi)發(fā)生產(chǎn)了如液晶盒厚測量?jì)x、液晶光電參數測試儀等測試設備；制造設備從較初的玻璃切割機、偏光片切割機、灌晶機等單臺設備，發(fā)展到可以生產(chǎn)成套的TN用清洗等前段設備和對摩擦線(xiàn)、板線(xiàn)等要求更高的設備。

    由北京七星華創(chuàng )電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)七星電子)研制成功的具有自主品牌的TFT-LCD五代生產(chǎn)線(xiàn)設備已在國內液晶大生產(chǎn)線(xiàn)投入使用。其中自動(dòng)移載機已于2006年7月交付京東方TFT—LCD五代線(xiàn)使用，目前運轉正常，使用效果良好；CELL段清洗機零部件本地化加工超過(guò)80%，2006年8月底也已在京東方五代線(xiàn)安裝完畢，并于9月30日正式投入使用，目前運行良好。據了解，七星電子根據我國未來(lái)TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)的建設趨勢，已開(kāi)始著(zhù)手設計六代線(xiàn)的移載/傳送類(lèi)設備，六代線(xiàn)的其他設備也將陸續開(kāi)始研發(fā)。此外，清大天達OEM的五代摩擦機已進(jìn)入五代TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)。山西太原中電科技集團第二研究所生產(chǎn)的COG設備已經(jīng)進(jìn)入日資企業(yè)的生產(chǎn)線(xiàn)使用。

    中國電子專(zhuān)項使用設備工業(yè)協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)金存忠表示，在TFT-LCD液晶顯示器市場(chǎng)迅猛增長(cháng)的推動(dòng)下，今年我國將有一批TFT-LCD前工序的新設備進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)，這必將帶動(dòng)我國TFT-LCD液晶顯示器其他生產(chǎn)設備的發(fā)展。

    應遵循從后到中到前步驟

    盡管國產(chǎn)設備已進(jìn)入國內大生產(chǎn)線(xiàn)，但我國內地液晶設備就其規模和水平來(lái)看，與LCD器件和相關(guān)材料比，仍顯得滯后一些。國內設備目前仍停留在比較低端、分離單臺產(chǎn)品階段，面板生產(chǎn)線(xiàn)上的系統成套設備、高等前工序核心設備及測試裝備只能依賴(lài)進(jìn)口。同時(shí)，在進(jìn)口的核心設備上，不少關(guān)鍵零部件還必須再依賴(lài)進(jìn)口，這將導致工廠(chǎng)的后續服務(wù)成本偏高，而且還必須受制于人。因此發(fā)展液晶產(chǎn)業(yè)，作為為其配套的設備業(yè)要得到發(fā)展，還需要各方面給予更多的支持和關(guān)注。

    業(yè)內相關(guān)人士給出建議，國內企業(yè)應從TFT-LCD后工序設備入手，要點(diǎn)在TFT-LCD移載設備、清洗設備、摩擦線(xiàn)設備、COG設備和TFT薄膜沉積設備等方面形成配套能力；積較開(kāi)展6代面板生產(chǎn)線(xiàn)陣列等前道工藝設備的研究開(kāi)發(fā)，要點(diǎn)提高濕/干法刻蝕機、液晶灌注機等研制水平。

    七星電子袁國林告訴記者，TFT-LCD生產(chǎn)設備對于TFT-LCD產(chǎn)業(yè)至關(guān)重要，TFT-LCD生產(chǎn)設備固化了很多生產(chǎn)工藝，只有好的設備，才能生產(chǎn)出好產(chǎn)品。TFT-LCD生產(chǎn)設備技術(shù)含量和自動(dòng)化程度都很高，由于國內現有技術(shù)水平的限制，國產(chǎn)設備進(jìn)入大生產(chǎn)線(xiàn)還需要有一個(gè)過(guò)程。

    他建議，應籌備面板生產(chǎn)企業(yè)、設備研制企業(yè)、相關(guān)研究機構及科研院所形成產(chǎn)業(yè)集群，給產(chǎn)業(yè)整體發(fā)展提供良好的合作環(huán)境；還應出臺相關(guān)的鼓勵政策，在資金、稅收、資金、人才等方面扶持本國TFT-LCD設備研制相關(guān)企業(yè)的發(fā)展，同時(shí)，吸引國外設備企業(yè)與國內企業(yè)的技術(shù)合作，促進(jìn)國內企業(yè)的盡快成長(cháng)。此外，企業(yè)自身應加強與國內外企業(yè)和科研單位的交流，爭取獲取更多的技術(shù)交流與商業(yè)合作機會(huì )。

    設備的本土化是每個(gè)液晶生產(chǎn)企業(yè)必須要走的路。北京清大天達副總經(jīng)理王躍光介紹說(shuō)，目前，韓國設備的本土化率已經(jīng)達到50%，到2010年將達到80%左右。而我國寶島液晶生產(chǎn)設備的本土化率也已達到30%，未來(lái)幾年將達到50%以上。和他們相比，我國液晶生產(chǎn)設備不足2%的市場(chǎng)占有率顯得微不足道。他表示，雖然我國液晶生產(chǎn)設備起步較晚，但是我國在TN、STN、CSTN設備上是有一定基礎的，國產(chǎn)設備覆蓋率已達80%，且均有自主知識產(chǎn)權，其典型產(chǎn)品有盒厚測量、摩擦、切割、灌晶除泡等設備。而TFT設備尚存在一定差距，但也不必從頭開(kāi)始，而是可以通過(guò)合資、合作或引進(jìn)的方式，迅速進(jìn)入角色，從而縮短與全部廠(chǎng)商之間的距離。TFT-LCD設備也同半導體設備相似，國內企業(yè)也應從后道工序著(zhù)手進(jìn)入，因其技術(shù)含量相對前道來(lái)講低，進(jìn)入門(mén)檻相對較低，因此，國內企業(yè)應從此進(jìn)行打破，循序漸進(jìn)，逐步覆蓋TFT-LCD生產(chǎn)線(xiàn)從后到前整個(gè)設備。

    業(yè)內相關(guān)人士接受《中國電子報》記者采訪(fǎng)時(shí)表示，雖然目前國內生產(chǎn)設備已進(jìn)入液晶生產(chǎn)線(xiàn)，但所占的份額遠遠沒(méi)有達到大家的預期。因此，要改變現狀，需要在研發(fā)上得到相關(guān)部門(mén)及各方更大力度的支持和企業(yè)執著(zhù)的推進(jìn)，設備廠(chǎng)商應與面板廠(chǎng)商密切合作，建立聯(lián)盟，力求從研發(fā)開(kāi)始與面板廠(chǎng)商合作。